Neigungssensor NBT

Erfassung der Neigung im Gravitationsfeld mittels MEMS-Sensoren (Micro-Electro-Mechanical-System) mit nachfolgender Digitalisierung und Linearisierung durch Controlle MEMS Sensoren sind integrierte Schaltkreise, die in Silizium-Bulk-Mikromechanik Technologie gefertigt werden. Mithilfe von beweglichen mikromechanischen Strukturen werden Doppelkapazitäten gebildet. Werden diese Strukturen bei Beschleunigungen, z.B. Erdbeschleunigung (g), ausgelenkt, erfolgen Kapazitätsänderungen, die messtechnisch erfasst und weiterverarbeitet werden. Die Ausgangsspannung folgt der Funktion U ~ g * sin(α). Der Winkel α ist hier der Neigungswinkel des Sensors gemessen zum g-Vektor. Diese Sensoren messen präzise, haben eine hohe Lebensdauer und sind sehr robust. Die Messachsen arbeiten unabhängig voneinander. Bei den Neigungssensoren der Modellreihe NBT ist das PROFINET-Interface nach IEC 61158/61784 bzw. PNO-Spezifikation Order No. 2.712 und 2.722, Version 2.3, integriert.